MEMS激光雷达（Micro-Electro-Mechanical Systems LiDAR）是一种基于微机电系统技术的激光雷达解决方案。它通过微型反射镜阵列的精确偏转来控制激光束的发射方向，实现对周围环境的高精度三维扫描。与传统机械旋转式激光雷达相比，MEMS激光雷达具有体积小、成本低、可靠性高等显著优势，同时能够保持较高的角分辨率和测距精度。其核心组件包括MEMS微镜、激光发射器和接收器等，这些组件通过半导体工艺集成，使得整个系统更加紧凑和耐用。
在自动驾驶汽车开发中，MEMS激光雷达因其小型化和低成本特性，正逐渐成为量产车型的首选传感器方案。它能够与摄像头、毫米波雷达等其他传感器形成互补，为车辆提供更全面的环境感知能力。特别是在城市复杂场景下，MEMS激光雷达对行人、车辆和静态障碍物的检测性能表现优异。当前技术挑战主要在于提高其视场角和抗干扰能力，但随着芯片级集成技术的发展，未来MEMS激光雷达有望实现更大规模的商业化应用。